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SEM兼容原子力显微镜
产品简介
EM-AFM 纳米操作系统提供了在SEM电镜中原子力显微镜成像和定量测量纳米力的能力。它可将SEM和AFM这两种显微技术进行联用，提供高速高分辨率的3D形貌成像，以及微纳米和亚纳米尺度纳牛力相互作用的实时观测。
产品特性
· 同步AFM 和 SEM 成像
· 兼容市面上的主流SEM电镜
· 超高分辨率形貌扫描
· 通过纳米压痕定量测量纳米力
· 真空载锁兼容
· 操作稳定性高，不受SEM电子束干扰
规格参数
系统概况 | 系统尺寸 | 100x100x35mm |
SEM载锁兼容 | 根据客户需求提供方案 | |
可用环境 | SEM真空环境兼容 | |
系统重量 | 400g+SEM/FIB适配器 | |
样品运动台 | 运动范围 | 15x15x5mm |
集成编码器 | 可选 | |
闭环运动分辨率 | 1nm | |
运动速度 | >45mm/s | |
小范围扫描器 | 扫描范围 | 35x35x5μm |
集成编码器 | 有 | |
闭环分辨率 | 优于0.2nm | |
扫描速度 | 8μm/s | |
漂移率 | <2nm/min | |
AFM传感探头 | 传感原理 | 压阻式 |
扫描模式 | 接触式 | |
力感应分辨率 | 优于5nN | |
成像分辨率 | 优于1nm | |
力传感范围 | +/200μN |
应用案例
SEM-AFM图像融合
SEM成像具有高横向分辨率和扫描速率的优势，结合AFM成像提供的三维形貌信息，可获取新的而又完整的信息
亚纳米成像分辨率
全闭环编码系统确保在没有图像失真的情况下获得超高形貌成像分辨率，同时获取亚纳米成像分辨率。
纳米压痕和拉伸测试
样品的纳米力学性能可以在该仪器中通过纳米压痕和纳米拉伸测试试验技术进行测量。在SEM电镜成像下，可实时观测压痕和拉伸过程。专用软件提供了内置的计算工具，用于分析和显示获取的观测数据。
高真空环境/SEM兼容
结构紧凑的AFM兼容市面上大部分的SEM和FIB，并能够在数秒内完成安装和拆卸。系统允许很小的工作范围（5mm），同时兼容标准的SEM分析技术。
